玻璃通孔湿法刻蚀机

1.平均故障间隔时间（MTBF）：>1500 hours 2.稼动率：≥90.00% 3.破片率：≤1‰ 4.平均修理时间（MTTR）：<2 hours 5.采用前后槽配置，可实现半自动作业，含有机械手进行晶圆前后移动 6.槽体采用进口PVDF材质焊接而成，配置自动盖且与机械手互锁 7.温度控制采用恒温机控制，控温精度：23-25±0.5℃ 8.循环系统，配备PFA气动隔膜泵,流量：10~25L/min 9.过滤系统采用PFA/10寸过滤器，过滤精度：0.2um

可以用于8吋TGV /TSV深孔/通孔刻蚀，配备了机械手自动送料作业以及水槽可按照自行设定的recipe进行自动冲洗，确保冲洗干净保护操作人员人身安全。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。