微波等离子体化学气相沉积系统

1. 微波系统： 1.1 工作频率：915±25MHz； 1.2 输出功率：1~75kW连续可调； 1.3 功率稳定度：优于±2%(满功率时)； 2. 真空系统： 2.1 真空泵：18L/min，配备高性能真空泵及高精度针阀 2.2 极限真空度：优于1.0x10-2Pa 2.3 工作气压：100Pa~100kPa可调 3. 样品台有效直径：≥100 mm；

该设备用于制备大尺寸金刚石薄膜以及薄膜的原位掺杂。

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。