真空蒸镀与手套箱集成设备

1.真空腔室：采用SUS304不锈钢制成，内部电解抛光处理，减少表面放气，与手套箱密封结合良好，后门铰链式活开门，方便打开维护检修；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔体需预留有不少于3个未使用的真空法兰接口，用于后期功能扩展； 2.真空极限：优于3.0×10-5 Pa； 3.抽速：从大气抽至5.0×10-4 Pa≤15min； 5.样品台：尺寸及掩膜结构根据客户定制，样品台需要设计旋转，转速不少于0-25转/分且可自行调整，磁流体密封； 6.蒸发源：不少于4组蒸发源，需合理分配金属蒸发源和有机蒸发源，各源均独立，金属蒸发源采用陶瓷绝缘结构，有机蒸发源采用陶封法兰金属密封结构，源间有隔板，源上有挡板。 7.蒸发电源：不少于2组蒸发电源，金属用蒸发电源功率不小于2.2kW, 有机源用蒸发电源，最高加热温度不低于600 ℃，具备粗调微调功能； 8.膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在线监测蒸镀速率和膜厚，速率显示精度不低于0.1埃/秒。

该设备用于在无水无氧的环境下以真空蒸镀的方式制备有机物、无机物和金属薄膜等。

新能源

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。