离子溅射仪
- 规格型号：MC1000
- 运行状态： 启用
- 仪器类型： MC1000
- 仪器认证： 已进行计量认证
- 参考收费标准： 按相关收费标准执行
服务信息
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类型：磁控二极管放电型（电场垂直于磁场） 电极组成：方向平行盘（嵌入磁铁） 喷镀速率：15nm/min（Pt靶，7Pa，40mA）；35nm/min(Au靶， 7Pa，40mA) 最大样品尺寸：ф60mm*20mm
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可对样品表面进行镀膜处理。
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新材料
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客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。
联系方式
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宋春晓
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13515968351
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cxsong@xmu.edu.cn
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