扫描电子显微镜

二次电子像分辨率：0.6nm@15kV，0.8nm@1kV 加速电压：0.01 ～ 30kV (10V/step) 放大倍数：最小20倍； 最大200万倍（底片模式） 电子束流：最大200nA 探测器：包括镜筒内高分辨二次电子探测器、镜筒内背散射电子探测器、样品室内二次电子探测器、样品室内半导体式背散射电子探测器。 电制冷能谱仪：品牌型号：牛津 UltimMax; 探测器面积：100mm2;能量分辨率：Mn/Ka保证优于127eV, 元素分析范围Be4～Cf98 电子背散射衍射仪：品牌型号：牛津 C-Nano+ EBSD 探测器；分辨率：花样分辨率1244 x 1024；速度： > 600pps（312*256像素分辨率）；灵敏度：> 900 pps/nA

材料表面形貌观察，微区成分分析、微区晶体取向和晶体结构分析。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。