氮原子源

真空室直径 57mm 标准长度 290mm 原子束直径 25mm 固定法兰直径 NW63CF(114mm/4.5”) 最大功率 600W 工作气压 1x1016个原子/cm2/sec 提供的标准设备：原子源（适应用户指定的长度，并具有观察等离子的视窗）、射频电缆，手动调谐 装置、离子偏转板和电源 维护措施: 水冷，流速0.5l/min 运行压力: 所有原子源均可在腔室压力

用于双一流-微电子技术-第三代半导体的薄膜表面处理

电子信息

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。