台阶仪（探针轮廓仪）

传感器：LVDC(Linear Variable Differential Capacitor)，具有反馈机构 ·垂直方向动态扫描范围：0-327μm ·垂直方向分辨率： 0.20Å ·探针力控制范围：0.5-50 mg，(闭环反馈) ·台阶高度重复性：≤ 4 Å (台阶≤1μm) or ≤0.1%(台阶>1μm) ·台阶高度线性度：±0.5%＞2000 Å，10 Å≤2000 Å ·光学平晶尺寸：直径＞250mm光学平晶 ·样品采样率：5-2000Hz ·测试速度：2um/s-25mm/s ·单次最大扫描距离：≥150mm

探针轮廓仪（台阶仪）主要用于测量纳米级至微米级台阶高度（如薄膜厚度测量、器件材料台阶高度）

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。