激光扫描显微镜

1、Z 向测量显示分辨率0.5nm 重复精度：0.012um X 向测量显示分辨率1nm 重复精度：0.02um 测量高度范围：0—7mm 2、扫描速度： 面扫描：4-120Hz，线扫描：7900Hz 3、图像分辨率：130nm 4、镜头：10X、20X、50X、150X

主要用于样品的轮廓、形貌测量（精度）、线粗糙度和面粗糙度测量、磨耗对比测量等。

其他

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。