化学气相沉积系统

1、全套石英器件，4条独立控制气路（氩、氢、甲烷高、甲烷低流量），气体泄露探测器、焚烧式尾气处理； 2、独立三温区，最高温度1100 oC，恒温均匀性好于0.5 oC； 3、不小于98%面积的单层石墨烯； 4、本底真空30 mTorr， 100 mTorr-500 mTorr真空可控，生长气压范围广； 5、衬底大小：单片或多片总面积不大于100 mm*50 mm。

专利技术保证高质量单层石墨烯生长，成熟工艺、高自动化程序。

新材料

客户提前10天申请，商榷检定日期，检定人员到现场检定，待检定合格后方可使用。