化学分析电子谱微探针

化学分析电子谱微探针

QUANTUM 2000 Scanning ESCA Microprobe

分析仪器>X射线仪器>X射线能谱仪

化学

X-ray光源：Al阳极靶，扫描式单色器； 束斑：10 μm~200 μm，一般100 μm~200 μm； 能量分析仪：180o半球形分析器+16通道检测器， 基础真空：5×10?1? torr 检测范围：原子序数大于He的所有元素； 检测极限：0.5~0.01 atomic% 信息深度：0.5～7.5 nm 能量分辨率：优于0.5 eV(Ag)； 空间分辨率：优于10 μm 半定量：相对原子灵敏度因子法

检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布，通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态。任何固体样品均可，但不得具有磁性、毒性、辐射性及易挥发性。 具有先进的自动电中和功能，可消除非导体样品的荷电位移影响； 仪器同时具有角分辨XPS功能及氩离子深度剖析功能； 具有元素影像扫描功能； 通过仪器附带的SPS工作台，可方便进行样品元素的化学微区分析（100～200 μm）。

检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布，通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态 （除H、He外所有元素）

600元/样。 表面分析，深度剖析每溅射分析一次等同于一个样品

详见实验处网站