电子束蒸发台
E-Beam Evaporator
- 品牌：Edwards Temescd公司
- 型号：BJD/FC2000
- 产地：中国
- 启用日期：2010-07-01
- 学科领域：化学
仪器信息
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电子束蒸发台
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E-Beam Evaporator
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备
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化学
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小型标准电子束蒸发镀膜系统，适合小规模生产和研发。设备产能：2inch 晶圆，42；3inch 晶圆，17；100mm晶圆，13；150mm晶圆，5。
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电子束蒸发镀膜系统。精确控制材料蒸气云分布，典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡，可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
服务信息
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物相分析晶粒度测定、晶胞常数精确测定
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镀金：2200元/样 镀钯：1400元/样 镀银：1200元/样
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详见实验处主页
联系方式
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化学化工学院
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周勇亮
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0592-2181583
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ylzhou@xmu.edu.cn
