离子注入机
400 kV ion implanter
- 品牌：National Electronstatic Corp. (NEC)
- 型号：非标定制
- 产地：美国
- 启用日期：2016-10-01
- 学科领域：核科学技术
仪器信息
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离子注入机
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400 kV ion implanter
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核仪器>核效应分析仪器>其他
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核科学技术
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离子种类：H 到 U; 离子能量（单价态）：10-400 keV；离子注量率：1E12～1E13 ion/cm2/s；样品台温度：0-500 °C;辐照面积：～10 cm2。
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核能工程材料的前期研发和测试；离子束材料改性；半导体器件材料的离子掺杂；离子束纳米结构合成；载能粒子与物质相互作用的计算机模拟验证等。
服务信息
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不同能量，不同温度，不同种类等的离子注入服务。
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对外1000元/小时，从开始离子注入时开始算起。
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在满足对内服务下，常年对外开放机时。
联系方式
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能源学院
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黄金池
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15060772127
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huangjinchi@xmu.edu.cn
