椭偏仪
无
- 品牌:J.A.Woollam.Co.Inc
- 型号:M-2000U
- 产地:美国
- 启用日期:2017-07-25
- 学科领域:化学,自然科学相关工程与技术
仪器信息
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椭偏仪
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无
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分析仪器>光谱仪器>其他
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化学,自然科学相关工程与技术
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1、光谱范围:245-1690nm 2、变角方式:计算机控制自动变角,变角范围:45-90º 3、补偿方式:旋转补偿 4、测量速度:全光谱(测试点大于650个)最快20HZ,典型全光谱1-3秒 5、测量正确度: 95%以上的被测点满足 Δ≤0°±0.05° Ψ≤45°±0.075° (直射测量,即测空气); 6、膜厚测量重复性:0.003nm (30次2nm SiO2膜厚测量的标准偏差)
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用于薄膜厚度及光学常数的测量分析,椭偏仪的高级应用是对材料微结构、微变化的研究。具有超高的灵敏度,它能测量低达百分之一纳米(10e-10米)的变化。
服务信息
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材料表面膜层厚度和光学常数的测量
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325元/小时
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每周固定机时对外预约
联系方式
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材料学院
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郑大江
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18205913095
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zhengdajiang@xmu.edu.cn