镀膜机
无
- 品牌：北京泰科落科技有限公司
- 型号：TEMD500
- 产地：中国
- 启用日期：2019-07-31
- 学科领域：电子与通信技术
仪器信息
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镀膜机
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无
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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电子与通信技术
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样品尺寸：8英寸及以下不规则 功率：8KVA； 6 穴坩埚； 蒸发源与基片距离≥400mm 2 组金属蒸发源；1 台 3Kw 蒸发电源供 2 组蒸发源切换使用 旋转速度：0～40 转/分钟
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TEMD500 电子束多功能蒸发镀膜机系统具有真空度高、抽速快、基片装 卸方便的特点。配备 1 套 E 型电子束蒸发源和 2 组电阻蒸发源、可选配在线膜 厚检测系统，具有成膜均匀、放气量小 和温度均匀的优点。
服务信息
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除了常规低熔点金属的蒸镀以外，TEMD500 还可以蒸镀金属材料，如 Cu、Al、Au、Ag、Ti、Pt 等 可应用于制备导电薄膜等。
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250元/小时
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无
联系方式
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萨本栋微米纳米科学技术研究院
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张春权
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18959282629
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cqzhang@xmu.edu.cn
