探针式轮廓仪
无
- 品牌：德国Bruker（布鲁克）公司
- 型号：Dektak XT
- 产地：中国
- 启用日期：2019-07-31
- 学科领域：电子与通信技术
仪器信息
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探针式轮廓仪
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无
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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电子与通信技术
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扫描长度：50um-55mm 垂直测量范围： 1mm 垂直分辨率：最大1Å（6.5um量程范围) 探针压力：1-15mg 探针曲率半径：0.2-25um，标配2um 8英寸自动样品台
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德国布鲁克 Dektak XT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5Å。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，Dektak XT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。Dektak XT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
服务信息
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主要应用于半导体、微电子、光电子、触摸屏、太阳能、材料科学、金属等领域，实现纳米级的表面形貌（主要为厚度、粗糙度等）的测量。
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220元/小时
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联系方式
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萨本栋微米纳米科学技术研究院
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吕文龙
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13959223602
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lwl1980@xmu.edu.cn
