高低温真空探针台
High and low temperature probe table
- 品牌：香港 SEMI SHARE
- 型号：SCG
- 产地：中国
- 启用日期：2016-12-01
- 学科领域：工程与技术科学基础学科
仪器信息
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高低温真空探针台
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High and low temperature probe table
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备
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工程与技术科学基础学科
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真空度：小于1E-3 Pa； 控温范围：77K~450K（液氮）/4.2K~450K（液氦）； 控温分辨率：0.001K； 控制方式：开循环手动； 探针数量：6个。
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SCG系列高低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。
服务信息
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高低温真空探针台在不同测试环境、不同温度条件下可对微结构半导体器件、微电子器件及材料进行电学特性表征测试。
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150元/小时
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7天24小时对外开放，请与管理员联系
联系方式
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萨本栋微米纳米科学技术研究院
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曾毅波
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13600958229
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zyb2005@xmu.edu.cn
