磁控溅射仪-300B
无
- 品牌：北京创世威纳科技有限公司
- 型号：MSP-300B
- 产地：中国
- 启用日期：2020-07-01
- 学科领域：材料科学
仪器信息
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磁控溅射仪-300B
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无
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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材料科学
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1. 极限真空度：≤8×10-5Pa (经烘烤除气后，连续抽气24小时) 2. 抽速：系统短时暴露大气，从大气抽至6.7*10-4Pa时间≤40分钟。 3. 漏率：优于5*10-7Pa˙L/s 4. 磁控溅射靶：直径60mm 3个，其中强磁靶1个。 5. 基片尺寸和数量： 直径4英寸样品,一次可放置多片 6. 样品加热温度：不低于300°C，连续可调 7. 配有偏压电源，并支持样品的偏压清洗与辅助沉积 。
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样品表面镀功能膜
服务信息
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金属镀膜
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360元/小时
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需培训后使用，首次预约需提前联系管理员
联系方式
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材料学院
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郑大江
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18205913095
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zhengdajiang@xmu.edu.cn
