真空镀膜仪
Vacuum Evaporator
- 品牌：Angstrom Engineering Inc.
- 型号：Covap
- 产地：加拿大
- 启用日期：2019-05-30
- 学科领域：物理学,化学,材料科学
仪器信息
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真空镀膜仪
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Vacuum Evaporator
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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物理学,化学,材料科学
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极限真空5×10E-7Torr，样品台直径100mm, 4个蒸发源
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用于半导体器件金属电极薄膜的真空蒸镀
服务信息
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半导体器件制备，太阳能电池研究
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常规检测：400元/小时
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测试前请先电话联系
联系方式
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化学化工学院
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王静娟
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13950134146
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wangjj@xmu.edu.cn
