真空过程分析质谱仪

真空过程分析质谱仪

Vacuum Process Gas Ananlyser

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化学

1.质量数范围：1～300 amu 2.检测极限：5ppb 3.测量通道：大于200个 4.旁路排气系统：旁路抽取系统，快速将多余气体排出系统，保证快速响应。 5.涡旋泵抽速：5m3/hr 6.进样系统：50μm分子漏孔，适合的最高压力为1.0 mbar 1)200μm分子漏孔，适合的最高压力为5.0 x 10-2 mbar 2)700μm分子漏孔，适合的最高压力为5.0 x 10-3 mbar 3)泄漏阀进样：适合的最高压力为1000 mbar 7.响应时间： <300毫秒 8.进样压力： 1x10－4 mbar～1000 mbar 9.最小扫描步阶： 0.01am...

真空过程分析质谱仪是监测分析残余气体和表征真空工艺过程中的气体组成及变化过程必不可少的仪器。特别的，对于课题组即将展开的二维薄膜中多组分复杂气体的筛选率测量实验，一方面，二维薄膜中的气体流量小，需要极限的检测精度（ppb级），另一方面，气体穿透过程中需要对气体组分和含量进行实时在线的监测分析。

真空过程分析质谱仪主要适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。对反应过程中的各种气体进行实时在线的监测分析，得到有关气体的成份和含量信息。

450元/小时

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