半导体器件测试探针台

半导体器件测试探针台

Probe station for semiconductor device measurement

电子测量仪器>通用电子测量仪器>其他

物理学,化学,能源科学技术,电子与通信技术

1.温度范围：10K-350K； 2.控温稳定性：优于±100mk； 3.光分辨率：优于4μm； 4.探针臂的可三维移动 X方向不小于51mm Y方向不小于25mm Z方向不小于18mm 5.漏电流：<100fA

半导体器件测试探针台与半导体参数仪联用可以进行基础的电学测试，测试场效应晶体管的饱和漏电流、夹断电压、开启电压、低频跨导等场效应管的重要参数；该设备还可以完成光电探测器方面的测试，特定的探针臂带有可调波长及可调光功率的光纤，可以测试样品在不同光功率下的转移曲线和传输曲线；该设备同时可以进行在低温及高温的变化温度下对样品的分析测试，低温下测试的样品可以减小热扰动对于测试结果带来的不准确性。

半导体器件测试探针台与半导体参数仪联用可以进行基础的电学测试，测试场效应晶体管的饱和漏电流、夹断电压、开启电压、低频跨导等场效应管的重要参数；该设备还可以完成光电探测器方面的测试，特定的探针臂带有可调波长及可调光功率的光纤，可以测试样品在不同光功率下的转移曲线和传输曲线；该设备同时可以进行在低温及高温的变化温度下对样品的分析测试，低温下测试的样品可以减小热扰动对于测试结果带来的不准确性。

1、器件测试：450元/小时； 2、其他根据具体测试需求面议。

1、用户独立使用仪器前需在仪器共享平台网站上报名相关仪器的培训，仪器管理员培训考核通过后方可获得独立上机操作权限； 2、仪器使用前均需在仪器共享平台网站上进行预约，待审核通过后方可上机； 3、用户需按时上机，失约后将无法使用仪器； 4、其他特殊测试需求需提前联系仪器管理员，协商确认后方可委托送样测试；