台阶膜厚仪

台阶膜厚仪

Stylus profiler

计量仪器>长度计量仪器>台阶高度测量仪

信息科学与系统科学,信息与系统科学相关工程与技术,电子与通信技术

1. 可实现台阶测量，粗糙度测量和薄膜应力测量； 2. 实现自动测量和可视化测量 3. 样品台尺寸：6英寸和8英寸可选； 4. 垂直方向扫描范围： 1000um； 5. 水平方向单次扫描长度：55mm； 6. 垂直方向精度：0.1nm； 7. 测试高度方向的重复性：≤0.4nm (1um的标准台阶,重复测量30次)； 8. 样品台XY方向行程：自动编程控制150 mm×150 mm，360°自动旋转； 9. 可放置最大样品厚度：50 mm； 10. 探针压力：1mg至15mg；

可做表面轮廓三维形貌测量，配备相应的数据分析软件，具备数据存储、处理、输出功能

1、包括探针式表面轮廓仪（台阶仪）主机、测试软件、测试电脑、对应的设备连接线、标块、探针。 2、设备的安装、调试以及培训指导。

1、常规形貌观测:100元/样，限制3个点，超过增加计费100元/0.5h；2、材料应力测试:150元/样，限0.5h超时增加计费100元/0.5h；3、形貌面扫测试:400元/样(含操针折1日)，限1h，超时加收200元/h；4、用户自主操作：300元/h；5、培训费用：500元/人/次

1、用户独立使用仪器前需在仪器共享平台网站上报名相关仪器的培训，仪器管理员培训考核通过后方可获得独立上机操作权限; 2、仪器使用前均需在仪器共享平台网站上进行预约，待审核通过后方可上机; 3、用户需按时上机，失约后将无法使用仪器; 4、其他特殊测试需求需提前联系仪器管理员，协商确认后方可委托送样测试; 5、测试样片材质不能有粘性，太过软（标准为：针尖在3mg的力下不能损伤样品）