自动减薄抛光机
Precision Lapping and Polishing System
- 品牌：SUPER LOGIC LIMITED
- 型号：PM6
- 产地：英国
- 启用日期：2020-12-18
- 学科领域：机械工程
仪器信息
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自动减薄抛光机
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Precision Lapping and Polishing System
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工艺实验设备>加工工艺实验设备>机加工工艺实验设备
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机械工程
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样品加工的常规尺寸为Ф100mm及以下，厚度为0.1~1.5mm；厚度在线监测，测试精度优于2μm；
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能够实现对材料的减薄抛光，获得高表面质量的超薄切片
服务信息
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自动减薄抛光机是在半导体科学，地质科学，光电子学，及其光学等学科中使用量最大的抛光研磨设备之一，其能够实现对材料的减薄抛光，获得高表面质量的超薄切片，是研究材料晶相，组织结构，MEMS相关工艺的基本设备。
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院内 400元/小时 校内 500元/小时 校外 600元/小时
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申请条件：在系统完成注册 申请方式：电话联系，交流样品情况后确认服务方式 申请时间：提前两天预约 申请流程：电话联系，交流样品情况后确认服务方式，然后再系统预约 申请材料：第一次使用要填写提交设备使用申请表 服务时间安排：9:00-12:00,14:00-18:00.根据课题组相关实验做调整
联系方式
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萨本栋微米纳米科学技术研究院
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何功汉
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18359269411
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hgh@xmu.edu.cn
