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分子层沉积系统

分子层沉积系统

品牌:厦门韫茂科技有限公司
型号:GM10
产地:中国
启用日期:2021-04-09
学科领域:化学,材料科学
仪器信息
分子层沉积系统
工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他
化学,材料科学
1.1腔体包括不锈钢304真空腔体, 内外腔体设计,温度更均匀,使用更安全 1.2加热器包括全对称360度加热器,最高温度300°C,均一性1% 1.3真空泵包括国际品牌防腐机械泵抽速 ≥15m3/hr 1.4真空计包括国际品牌100(10)Torr薄膜规一套,可实时显示内外腔体工艺压力 1.5极限压力 <50m Torr 1.6样品桶容量 2个,除了粉末可放置平面及3D物体 1.7旋转振动, 样品桶可旋转,转速0-220RPM可调 1.8阀门及管线包括自动控制的完整阀门和线路加热,温度范围从室温到200度。
材料表面原子级别沉积包覆改性
服务信息
材料、能源、催化
1000元/样
测试前请先电话联系
联系方式
化学化工学院
高军
13950094580
gaojun@xmu.edu.cn