等离子去胶机
Plasma surface treatment system
- 品牌：德国Diener
- 型号：Nano
- 产地：中国
- 启用日期：2021-12-14
- 学科领域：工程与技术科学基础学科,信息与系统科学相关工程与技术,自然科学相关工程与技术,电子与通信技术
仪器信息
-
等离子去胶机
-
Plasma surface treatment system
-
工艺实验设备>汽车工艺实验设备>红外线汽车排气分析仪
-
工程与技术科学基础学科,信息与系统科学相关工程与技术,自然科学相关工程与技术,电子与通信技术
-
1. 高真空不锈钢腔体，容积43升，腔体尺寸340W*280H*456D(mm)，可容纳平板可插拔电极4片。 2. 新机极限真空<20mTorr，压升<10mTorr/min。 3. 13.56MHz，300w射频电源与匹配器。 4. 油泵，进口莱宝，含泵油与油雾过滤器。 5. 三路工艺气体控制，配置Hitachi的质量流量计（MFC），可通过软件设定对应不同气体种类，建议配置为氧气、氮气、氩气。 6. 真空计监测腔体压力，有效监测区间1-10000mTorr。 7. PLC触屏，智能软件控制，可实现自动/手动操作切换，30组以上工艺程序存储，3级控制权限（操...
-
去除残留光刻胶。
服务信息
-
微电子器件制作工艺中的光刻胶去除等。
-
开机费60.00元/小时，机时补贴费 40.00元/小时，普通材料费50.00元/小时，附加材料费根据实际使用计费。
-
无
联系方式
-
电子科学与技术学院
-
李明泼
-
13959278330
-
lixun06@xmu.edu.cn
