光刻机
无
- 品牌：成都鑫南文德机械设备有限公司
- 型号：G-33D6
- 产地：中国
- 启用日期：2021-07-21
- 学科领域：电子与通信技术
仪器信息
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光刻机
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无
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分析仪器>电子光学仪器>透射电镜
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电子与通信技术
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1、曝光方式：采用版-片对准单面曝光 2、LED紫外曝光头 3、曝光面积：150mm×150mm； 4、曝光强度：0～30mw/cm2可调； 5、紫外光束角：≤3°； 6、照明不均匀性： ±3%； 7、紫外光中心波长：365nm； 8、紫外光源寿命：≥2万小时； 9、工作面温度：≤30℃ 10、采用电子快门； 11、曝光分辨率：1μm(曝光深度为线宽的10倍左右) 12、曝光时间采用0～999.9秒（日本OMRON生产）时间继电器控制。 13、套刻精度：1μm
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用于半导体器件的光刻，实现所需要的图形
服务信息
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用于半导体器件的光刻工艺
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开机固定费 0.00 元 单次收取 开机费 45.00 元/小时 机时补贴费 40.00 元/小时 材料费 265.00元/小时
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无
联系方式
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电子科学与技术学院
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谭颖玲
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15751866591
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yltan@xmu.edu.cn
