场发射扫描电子显微镜

场发射扫描电子显微镜

Field Emission Scanning

工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他

物理学,工程与技术科学基础学科,材料科学,机械工程

分辨率：二次电子像不低于：1.0 nm / 15kV； 不低于1.8nm / 1kV，非样品台减速模式，在低电压观察模式下样品台可以倾斜。 放大倍率：10-1,000, 000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换； 加速电压：0.02kV ～ 30 kV，步进≤10V, 无需模式更换； 电子枪：肖特基热场发射电子枪； 电子束流：最大束流不低于20nA，束流稳定度优于 0.2 %/h； 样品室：宽度或者内部直径不小于365mm, 高度不小于275mm ； 加工精度：30kV 负抗蚀剂极限加工精度15nm，正抗蚀剂极限加工精度50nm；

场发射扫描电子显微镜主要用于各种材料的形貌、结构和元素分析，并要求对一些容易受电子束损伤的样品在低加速电压实现高分辨观察。此外，可对电子束抗蚀剂材料进行结构加工。

平面二元光学、二维材料、未来显示、人工智能等领域

1、图形加工：800元/小时； 2、其他根据不同加工需求面议

1、用户独立使用仪器前需在仪器共享平台网站上报名相关洁净间进入培训与仪器培训，管理员培训考核通过后方可获得独立上机操作权限； 2、仪器使用前均需在仪器共享平台网站上进行预约，待审核通过后方可上机； 3、用户需按时上机，失约后将无法使用仪器； 4、其他特殊测试需求需提前联系仪器管理员，协商确认后方可委托送样测试；