365nmLED光源曝光机
无
- 品牌：嘉兴科民电子设备技术有限公司
- 型号：Litho-100LED
- 产地：中国
- 启用日期：2021-12-23
- 学科领域：电子与通信技术
仪器信息
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365nmLED光源曝光机
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备
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电子与通信技术
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1.曝光光源：365 nm LED 2.分辨力：1μm 3.对准精度：±1μm 4.掩模样片整体运动范围：X：15 mm；Y:15 mm 5.掩模尺寸包括：3英寸、4英寸、5英寸掩模板 6.样片尺寸包括：2英寸、3英寸、4英寸及各种兼容的小尺寸不规则样片 7.曝光方式：接触曝光 8.照明不均匀性：3%（φ50 mm范围）
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实现微米级别图形化光刻
服务信息
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国家产教研融合平台-光刻培训
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开机费 70.00 元/小时 机时补贴费 40.00 元/小时 材料费 240.00 元/小时
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无
联系方式
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电子科学与技术学院
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谭颖玲
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15751866591
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yltan@xmu.edu.cn
