磁控溅射台
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- 品牌：嘉兴科民电子设备技术有限公司
- 型号：PVD-100
- 产地：中国
- 启用日期：2021-12-23
- 学科领域：电子与通信技术
仪器信息
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磁控溅射台
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分析仪器>电子光学仪器>其他
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电子与通信技术
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1. 溅射材料：Au/Ag/Pt/Ti/Al/Si/氧化物等 2. 样片尺寸：直径100 mm，兼容4英寸及以下尺寸样片与碎片，样品台可旋转 3. 真空系统：本底真空优于1×10-3 Pa 4. 载片台加热最高温度500℃ 5. 均匀性：±5%（4英寸） 6. 设备尺寸：≤850mm×850 mm×1100mm
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磁控溅射台是真空物理气相沉积设备，主要用于金属电极、介质膜层的生长
服务信息
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用于金属、氧化物等功能薄膜沉积-集成电路器件制备、科研及教学
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开机固定费：100元 开机费：45元/小时 机时补贴费：40元/小时 材料费：75元/小时
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联系方式
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电子科学与技术学院
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戴彬
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13695987287
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daibin@xmu.edu.cn
