超高分辨场发射扫描电子显微镜

超高分辨场发射扫描电子显微镜

FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON MICROSCOPE(FWSEM)

分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜

化学,材料科学,能源科学技术

1. 电子枪：场发射电子枪，电子源直径≤5nm，电子源能量范围≤0.3eV； 2. SE分辨率： ≤0.5nm@15KV ； ≤0.8nm@1KV(减速模式)； 3. 物镜光阑： 4孔可调式； 4. 样品台驱动： 5轴优中心马达自动驱动，移动范围：X≥ 110mm，Y≥110mm，R=360°， Z=1.5-40mm，T=-5～70°；可直接观察6英寸样品的全部位置； 5. 配置预抽室交换样品，可放置直径≥150mm样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程；通过预抽室换样时间小于1分钟；具有样品安装到位提示；

（1）获取样品的微纳米级高分辨形貌，分析材料成份和晶体取向； （2）可进行二次电子与背散射电子任意比例混合信号叠加成像； （3） 可进行能谱元素成分分析

用于微纳米材料的表面形貌观察和成分信息分析，适用于材料微区分析，广泛应用在生物医学、能源材料、化学化工等多个科技领域中

1、形貌表征（含EDS测试）300元/样； 2、其他根据具体测试需求，面议。

1、测试分为委托测试及自主测试，提前一周在预约网站上进行预约 2、委托测试为每周一工作时间（9:00-12:00,14:00-17:30），其余时间为自主测试 3、自主测试需先进行培训考核，通过后方可开通权限进行使用 自主操作培训：需在预约网站上报名，报名时需提交负责人及本人签字的申请资料，包括承诺书、门禁申请，仪器使用申请三张表格（网站上文件下载），方可审核通过。 培训时间：每月第一周和第三周 周一8:30-12:00 培训内容：实验室安全、制样、仪器进样、拍图、能谱分析、退样