聚焦离子束多尺度协同纳米加工系统

聚焦离子束多尺度协同纳米加工系统

FOCUSED ION BEAM MULTI-SCALE COOPERATIVE NANOFABRICATION SYSTEM

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化学

配备氦氖镓三束离子束，具有成像分辨小于0.5nm，加工精度小于10nm的精确加工能力，具备离子束沉积并加工复杂图形的软硬件系统，同时配备有电荷补偿底能电子束流枪

He离子显微镜尤其适用于磁性、具有高景深、不导电样品的成像；兼具5 nm结构精修和大面积切削加工(He、Ne、Ga三束系统)。可用于储能体系剖层分析、催化剂表面精修、透射电镜样品制备、纳米孔制备用于DNA测序等；气体注入系统实现离子诱导沉积，多种金属/氧化物/聚合物可选

表面等离激元微纳结构加工，截面切割与观察，集成电路损伤修复等

1600元/小时，材料费另算

1、用户独立使用仪器前需在仪器共享平台网站上报名相关仪器的培训，仪器管理员培训考 核通过后方可获得独立上机操作权限； 2、仪器使用前均需在仪器共享平台网站上进行预约，待审核通过后方可上机； 3、用户需按时上机，失约后将无法使用仪器； 4、其他特殊测试需求需提前联系仪器管理员，协商确认后方可委托送样测试；