X射线光电子能谱仪

X射线光电子能谱仪

X-ray photoelectron spectroscopy

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化学,材料科学,能源科学技术

1. 能量分辨率：0.45eV/(Ag 3d5/2）； 0.68eV/(C 1s)（PET 上O-C=O 的C 1s） 2. 最小分析区域（收谱） <20μm 3. 灵敏度（Ag 3d5/2） ：大面积 11,800kcps (1.3eV ) 4. 空间分辨率 (快速平行成像 )：3μm

实现材料的表面几个原子层（1-10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像等综合分析与表征技术的研究，全自动样品传输和交换，实现全自动无人值守分析。

主要应用于高分子聚合物、陶瓷、玻璃、薄膜、钢铁、金属、生物材料、半导体、微电子、薄膜、纳米技术等领域。

1、常规XPS元素测试/REELS/ISS：500元/样（限10元素），10元素以上50元/元素/样，UPS600元/样； 2、其他根据具体测试需求面议。

1、本仪器具有XPS、UPS、Ar刻蚀、REELS、ISS、成像等功能，以及手套箱传输样品功能，其中Ar刻蚀(nm级）速率以Ta2O5刻蚀速率计算，不代表实际刻蚀深度与速率。X射线曝光与Ar刻蚀可能会导致部分样品发生变化（如Co、Ti、Cu等），请用户注意。 2、手套箱中一般仅进行样品储存，样品转移，贴样等操作，制样在用户手套箱中完成。 3、XPS光斑一般为650μm，分析深度3-10 nm，样品面积最好达到3mm X 3mm。固体样品满足尺寸与无磁性、无释气要求可直接送样，粉末样品要求压片。 4、粉末样品压片方法有二，一为粉末直接由红外压片机压成片状，二为胶带法（附后） 5、UPS光斑一般为1-2mm，分析深度3nm以内，表面性质对UPS测试结果影响极大，测试一般会搭配刻蚀，粉末样品因制样与表面情况导致结果无法重现，粉末样品测功函等推荐用XPS。 6、UPS样品面积要求控制在1cm X 1cm左右，要求表面导电（~ 十几欧），平整，洁净，如对数据要求高，需精确计算HOMO、HOS、VBM等，可提供同台片状金标样，中心目前仅有银标与非同台的金标测试结果提供。