真空快速退火炉

真空快速退火炉

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工艺实验设备>加工工艺实验设备>热处理加工工艺实验设备

传感器技术

1.退火样片尺寸：可放置的样品尺寸不小于50*50*2 mm。（优先考虑可以放置样品尺寸大的设备） *2.退火温度范围：室温 到 1200 ℃。 3.最快升温速率不小于500 ℃/分钟。 *4.退火温度均匀性优于± 1 .5℃。 5. 可在任意气氛中使用： 可以在真空、惰性气氛、流动气流及大气的氛围下进行加热和降温。 6. 精确的温度控制： 程序执行过程中，内置可编程温度控制器同时显示实际温度和设定的温度；程序编辑可以通过设备的前面板或者通过电脑上的软件完成设置； *7.系统极限真空度优于5×10-3Pa，配套进口涡轮分子泵，前级泵抽速不低于1 m3/h。 *8.真空状态...

真空状态或氛围状态下进行快速加热

mems器件、高温传感器件等真空快速加热

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