复合薄膜溅射沉积系统
Sputtering System
- 品牌：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- 型号：TRP-450
- 产地：中国
- 启用日期：2015-11-05
- 学科领域：自然科学相关工程与技术
仪器信息
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复合薄膜溅射沉积系统
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Sputtering System
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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自然科学相关工程与技术
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四英寸样品，三靶，RF及直流溅射。衬底可加热到600度。
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复合薄膜沉积
服务信息
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复合薄膜溅射沉积
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常规材料：200元/小时；贵金属沉积：400元/小时
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无
联系方式
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物理科学与技术学院
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黄巍
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15259208367
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weihuang@xmu.edu.cn
