在线监测仪
无
- 品牌：广东众元半导体
- 型号：SR100
- 产地：中国
- 启用日期：2020-12-10
- 学科领域：物理学
仪器信息
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在线监测仪
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无
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备
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物理学
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项目 规格 温度测试范围 450°-1500℃ 可使用的基板 SiC, Sapphire, ect. 辐射测温波长 单波长 940nm 测温精度 <0.2℃ @700℃，黑体炉测试 反射率测试波长 940nm， 635nm 反射率测试范围 1%至 100% 反射率测试精度 <0.5% 通光孔大小 5mm 仪表出光孔距被测表面距离 <150mm
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采用非接触光学的方式对薄膜外延的生长进行监测，通过一个复用监测孔，借助光路的反射率和发射率而衍生出来的对生长速率、生长温度等参数的测量。
服务信息
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可服务于半导体光电材料及器件生长领域。对校内网开放。
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与MOCVD相同。
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无
联系方式
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物理科学与技术学院
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陈航洋
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18064453905
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chycn@xmu.edu.cn
