
激光干涉仪
无
- 品牌:安捷伦
- 型号:Agilent5530
- 产地:美国
- 启用日期:2016-03-10
- 学科领域:机械工程
仪器信息
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激光干涉仪
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无
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计量仪器>长度计量仪器>双频激光干涉仪
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机械工程
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长度、速度测量指标:测量范围:40m;分辨率:1nm;最大轴向测量速度:±0.7m/s;速度测量精度:[(2μm/s)/速度 +0.01] % 示值。 角度测量指标:测量范围:±20 °;测量分辨率:0.005″;测量精度:±0.2 % 示值。 激光参数:He-Ne激光真空波长:632.991354nm;波长精度:±0.1ppm;波长稳定性:±0.002ppm(1小时内)、±0.02ppm(无限时长)
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该双频激光干涉仪可以在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺和坐标测量机等;可以对几何量如长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量等;既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量。
服务信息
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服务内容包含: 测量机床的定位精度;提供补偿数值以修正机械误差;协助诊断几何问题;以八种国际标准分析机械的性能;提供机床性能校准;用Agilent5530作常规校准,给制造商提供机床的性能验证。
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校外:160元/时 校内:80元/时
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无
联系方式
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萨本栋微米纳米科学技术研究院
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张陈涛
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15959285107
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zhangct@xmu.edu.cn