氮气纯化器
无
- 品牌：Japan Pionics Co.Ltd（JPC）
- 型号：VP-AN20-S
- 产地：日本
- 启用日期：2017-12-31
- 学科领域：信息科学与系统科学
仪器信息
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氮气纯化器
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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信息科学与系统科学
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• Flow rate capacity： 20m3/h+Purifier self gas flow rate • Purified self gas flow rate：0.42m3/h(nor) ×18.5h • Regen. H2 gas flow rate :8.4L/h(nor) ×4h
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高纯度氮气是微纳加工工艺中非常重要的工艺气体，特别是在材料生长及其前期处理工艺中，由于氮气纯度不足，带来的杂质污染会直接影响材料晶体质量和器件性能。该系统用于制备高纯度的N2。
服务信息
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该设备为实验室厂务供气系统附属设备，其使用成本已折算入实验室使用费用之中。
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联系方式
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物理科学与技术学院
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杨旭
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13599916733
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yangxu@xmu.edu.cn
