热蒸发镀膜设备

热蒸发镀膜设备

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自然科学

1.真空室：L400mm×W400mm×H450mm；方形腔体，前移门，后开门结构； 2.基片台：可旋转、加热、升降，最大样品尺寸：150×150mm； 3.金属蒸发源：2组，铜电极带水冷，金属蒸发电源1台； 4.有机蒸发源：束源炉2组，PID控温，最高温度600度，蒸发电源2台； 5.膜厚控制仪：采用inficon-SQM310C带三个探头； 6.真空系统：采用KYKY-1200L/S分子泵、12L/S机械泵、复合真空计等； 7.电气控制：采用PLC和触摸屏操作方式，控制真空系统和工艺参数设置； 8.手套箱：采用北京伊特克斯1800mm双工位一台； 9.冷水机和空压机各一...

该仪器能够在高真空下实现多源蒸发镀膜，且蒸发腔室位于手套箱内，能够实现钙钛矿、有机太阳能电池的蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接，这些关键配置的技术指标能够满足有机太阳能电池器件的制备和性能测试方面的问题，为新型、高效太阳能电池的制备提供技术保证。

该仪器能够在高真空下实现多源蒸发镀膜，广泛应用于钙钛矿、有机太阳能电池器件的蒸镀、封装、性能测试等方面。

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