4inch晶圆电镀实验装置
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- 品牌：株式会社 山本镀金试验器
- 型号：A-SO-ST4-N
- 产地：日本
- 启用日期：2022-10-18
- 学科领域：电化学
仪器信息
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4inch晶圆电镀实验装置
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分析仪器>电化学仪器>电化学传感器
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电化学
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4inch 晶圆专用阴极盒/耐热温度：65℃ 电镀有效范围：直径95mm左右 适用于晶圆厚度300μm以上、电镀膜厚30μm以下 Orientation Flat款 4inch晶圆专用阳极盒 4inch晶圆专用阳极（含磷铜板）（附阳极袋） 4inch晶圆专用均匀搅拌仪（转速显示型）需变压器 1000W 数码式温控仪输入电压：100V 晶圆用加热管（电压100V，功率100W）需变压器 微型精密过滤机20APFA型（附1μｍ滤芯）最大流量：4.8L/min 专用气泵（AC100V）出气量：约6.4L/ min 输入电压：100V/功率：3.8W需变压器 空气滤膜 最高使用...
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用于电镀铜衬底，用于实验中的电极制备和金属衬底的制备。
服务信息
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可用于半导体及其他材料表面的金属镀膜工艺。
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联系方式
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电子科学与技术学院
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仪器管理员
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