金属有机掩膜蒸发设备
无
- 品牌：沈阳奇汇真空技术有限公司
- 型号：QHV-R27
- 产地：中国
- 启用日期：2020-07-29
- 学科领域：信息科学与系统科学
仪器信息
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金属有机掩膜蒸发设备
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无
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分析仪器>样品前处理及制备仪器>旋转薄膜蒸发仪
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信息科学与系统科学
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提供蒸镀蒸发金、银、铝等材料的技术参数，可制备相关薄膜电极
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制备发光、太阳能电池等半导体器件的电极蒸镀
服务信息
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服务于物理电子、半导体物理、微电子等相关领域
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开机费：500元 材料费：100元（不包括蒸镀的原材料，例如金和银） 机时费：200元 工作时间：周一到周五 8：00-22：00
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该项目支持电子学院集成电路攻关专项
联系方式
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电子科学与技术学院
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李澄
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13057688266
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chengli@xmu.edu.cn
