公斤级粉体原子层沉积（ALD）

公斤级粉体原子层沉积（ALD）

无

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化学

1、不锈钢304真空反应腔体，全对称加热器，最高温度300°C，温度均一性＜3%； 2、100Torr/1000torr薄膜规各一套，实时监控工艺真空度，极限压力 <50m Torr； 3、样品桶可旋转，转速0-60RPM可调； 4、自动控制加热，阀门和线路温度范围：环境温度~200°C；尾气管路温度范围：环境温度~150°C； 5、配置防腐油泵，抽速≥15m3/hr，尾气过滤包括泵前级过滤，2个专用两级ALD尾气过滤系统； 6、配备5路固体液体源，2路反应气体气路，包括1路吹扫气体，1路载气气路，全部配置MFC气体流量计； 7、配置臭氧发生器, 集成最高浓度10%臭...

在公斤级粉体上实现材料表面均匀可控原子层沉积生长

可用于能源材料、催化材料的设计与验证。

1200元/样

测试前请提前联系