真空传输系统
无
- 品牌：北京芯微诺达科技有限公司Beijing Xinwei Nuoda Technology Co., L
- 型号：Trans-4
- 产地：中国
- 启用日期：2022-12-27
- 学科领域：化学
仪器信息
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真空传输系统
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无
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分析仪器>电化学仪器>其他
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化学
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1.传输腔体：铝材 6061，一体化加工 2.传输系统：自动机械手，程控完成； 3.控制系统：电气系统和软件控制全自主开发，Windows 环境，触摸屏操作 4.安全机制：机台异常处理机制与急停机制（EMO）； 5.传输方式：伺服电机驱动，通过皮带传动机械手 6.机械手为半圆形铝材质制造 7.兼容6英寸及6英寸以下托盘传输 8.含皮拉尼真空计1个，整体封装，模拟量通信
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用于对接腔室，实现真空互联工作
服务信息
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本次申请购买的传输系统可用于各种预留传输接口的工艺设备，通过配置该传输系统，可以保证工艺设备的更高的稳定性，并且保证使用人员的操作安全，隔离部分工艺气体，对于实验室的安全及工艺延展性有重要作用。
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450元/小时
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测试前请提前联系
联系方式
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化学化工学院
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曹阳
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18750928349
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ljm@xmu.edu.cn
