微纳米器件表面氧化及镀膜系统

微纳米器件表面氧化及镀膜系统

无

工艺实验设备>加工工艺实验设备>其他

化学

四、评标办法说明 本项目评标采用综合评分法，评分标准如下： 1、技术和服务部分评分F1（满分53分）。 1-1 根据采购响应供应商所响应货物产品的技术参数、性能指标、软件功能对采购文件各项基本技术参数、性能指标、软件功能要求的逐项响应承诺情况进行打分，“技术参数”中带有“▲”号标注的重要参数（16项），每满足一项得3分，未提供证明材料或证明材料不正确则不得分；检验证书原件中标后需能提供备查。 总分 48 1-2 考虑到设备系统的后期的维护，要求五年以上保修得5分，三年保修得3分，其他不得分。 总分 5 2、商务部分F2（满分12分）。 2-1 采购响应供应商能够提供本...

氮化硅薄膜沉积，微纳加工工艺处理，用于沉积纳米级氧化硅薄膜和氮化硅薄膜。

半导体加工，薄膜沉积，微纳加工工艺

500元/小时

测试前请提前联系