飞行时间-二次离子质谱

飞行时间-二次离子质谱

Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer

分析仪器>质谱仪器>离子探针

化学,生物学,材料科学

1 横向分辨率; 50 nm，深度分辨率;1 nm； 2 质量分辨率（m / ？m）：> 17000（28SiH+）；> 26000（> 200 amu）；> 17000 （绝缘样品PET，104 amu） 3 质量范围：1 - 12000 amu； 4 质量精度：1 mamu （质量数 < 100），10 ppm（质量数 > 100） 5 检测灵敏度：ppm / ppb 6 信噪比：R=I (28Si+) / I (28.5 u) > 2×105 7 检测元素：H-U及其同位素

飞行时间二次离子质谱仪，是使用一次脉冲离子轰击固体材料表面，通过测定表面被激发出的二次离子的质荷比可精确确定样品表面的组分构成，配合样品表面的扫描和剥离，可以得到样品表面及三维的成分分布图。

TOF-SIMS 是一种非常灵敏的表面分析技术。目前该仪器在半导体工业及科研院所的材料分析中占据着重要的地位，同时还适用于有机、无机、生物、医药、电子、地质、考古、环境等领域的各种固体材料的分析。目前已经有很多关于ToF-SIMS 在碳基材料的开发和应用方面的研究。例如研究碳纳米管、石墨的储氢能力，研究合成金刚石薄膜中掺杂元素的分布。

1、一维表面谱：800元/样（限1小时，超时加收300元/0.5小时），数据处理解析加收300元/样； 2、二维面扫分布：1200元/样（限1小时，超时加收500元/0.5小时），数据处理解析加收500元/样； 3、三维深度分析：1500元/样（限1小时，超时加收700元/0.5小时），数据处理解析加收700元/样； 4、离子注入量定量测试：1600元/样（需要标样，限1小时，超时加收700元/0.5小时），数据处理解析加收700元/样； 5、刻蚀加收500元/半小时； 6、原位测试：一单一议； 7、批量化数据处理根据样品情况一单一议 8、手套箱制样：100元/样 9、原位液体池窗片150元/片

（1）样品建议为完整平面，尺寸大有一维大于8mm，小于15mm，最好整体大于8 X 8 mm，＜15 X 15mm，粉末样品要求压片（方法见附件），厚度＜5mm，要求导电性好 （2）样品无毒，且不含腐蚀性物质 （3）样品不含磁性物质 （4）样品不含放射性物质 （5）样品干燥（最好经过真空烘干），不含结晶水 （6）样品在高真空下不挥发 （7）不可用笔类标记样品，用镊子或金刚石笔在样品上进行划 （8）样品非易燃易爆品