
蒸镀仪
无
- 品牌:沈阳奇汇光电科技有限公司
- 型号:QHV-R96
- 产地:中国
- 启用日期:2023-05-06
- 学科领域:材料科学
仪器信息
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蒸镀仪
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无
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>其他
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材料科学
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1. 方型真空室,前开门后滑门结构,材质为高真空专业SUS304不锈钢,极限真空度:3×10-5Pa,抽速:30分钟<5×10-4Pa(新设备,充干燥N2)。 2. 全自动真空系统:1300L分子泵。8L机械泵。PLC+触摸屏控制。 3. 有机蒸发源:2只,加热500度;金属蒸发源:4只。可加200A;整圆周分布。 4. 膜厚探头:水冷3套;膜厚检测系统。 5. 金属蒸发源挡板:4套; 6. 有机蒸发源挡板:2套;电动旋转。 7. 有机蒸发电源:4套。金属电源:2套。 8. 蒸发间距:290mm。 9. 样品架可升降,可旋转,可加热最高温度:400℃,电动总挡板。
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提供可靠的蒸镀蒸发金(Au)、银(Ag)、钙(Ca)、铝(Al)、氧化钼(MoO3)和LiF等材料的技术参数,并提供上述材料蒸镀技术培训并做出器件可点亮发光。
服务信息
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蒸镀蒸发金(Au)、银(Ag)、钙(Ca)、铝(Al)
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400元/小时
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用户须经培训考核合格获得授权后使用仪器。
联系方式
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材料学院
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唐卫华
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18059247009
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whtang@xmu.edu.cn