注意:本平台为互联网非涉密平台,严禁处理、传输国家秘密。
首页|仪器列表
蒸镀仪

蒸镀仪

品牌:沈阳奇汇光电科技有限公司
型号:QHV-R96
产地:中国
启用日期:2023-05-06
学科领域:材料科学
仪器信息
蒸镀仪
工艺实验设备>电子工艺实验设备>其他
材料科学
1. 方型真空室,前开门后滑门结构,材质为高真空专业SUS304不锈钢,极限真空度:3×10-5Pa,抽速:30分钟<5×10-4Pa(新设备,充干燥N2)。 2. 全自动真空系统:1300L分子泵。8L机械泵。PLC+触摸屏控制。 3. 有机蒸发源:2只,加热500度;金属蒸发源:4只。可加200A;整圆周分布。 4. 膜厚探头:水冷3套;膜厚检测系统。 5. 金属蒸发源挡板:4套; 6. 有机蒸发源挡板:2套;电动旋转。 7. 有机蒸发电源:4套。金属电源:2套。 8. 蒸发间距:290mm。 9. 样品架可升降,可旋转,可加热最高温度:400℃,电动总挡板。
提供可靠的蒸镀蒸发金(Au)、银(Ag)、钙(Ca)、铝(Al)、氧化钼(MoO3)和LiF等材料的技术参数,并提供上述材料蒸镀技术培训并做出器件可点亮发光。
服务信息
蒸镀蒸发金(Au)、银(Ag)、钙(Ca)、铝(Al)
400元/小时
用户须经培训考核合格获得授权后使用仪器。
联系方式
材料学院
唐卫华
18059247009
whtang@xmu.edu.cn