台阶仪（探针轮廓仪）

台阶仪（探针轮廓仪）

stylus profile

分析仪器>电子光学仪器>电子探针

化学

1. 高精度传感器和扫描器：垂直方向动态扫描范围≥300 um; 探针力控制范围:至少包含05-50 mg(闭环反馈)；单次扫描长度: ≥ 200 mm，无需拼接；台阶高度重复性: < 0.4 nm （1um台阶，2um探针下实现）；驱动X-Y-Z马达驱动，20个自动测序点，可根据预设不同样品区域的台阶进行测量；单次扫描可获得1.000.000个数据点； 2. 能满足8吋晶圆大范围高精度测试，样品台：直径 ≥200 mm真空吸附样品卡盘; 电动旋转。

测量纳米级至微米级台阶高度（如薄膜厚度测量、器件材料台阶高度）

主要用于测量纳米级至微米级台阶高度（如薄膜厚度测量、器件材料台阶高度），样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、样品表面三维形貌测量等

150元/小时

详见网站SOP文档和培训视频