高精度电子束蒸发系统
THIN FILM DEPOSITION SYSTEM
- 品牌：Kurt Lesker
- 型号：PVD75
- 产地：美国
- 启用日期：2024-10-01
- 学科领域：物理学
仪器信息
-
高精度电子束蒸发系统
-
THIN FILM DEPOSITION SYSTEM
-
分析仪器>电子光学仪器>其他
-
物理学
-
1、极限真空：5E-8 Torr 2、真空泵组：1500l/s冷泵 3、电子枪功率：5kW 4、蒸发源数量：6x20cc 5、膜厚控制：晶振
-
该设备能够精确生长高质量的金属、半导体薄膜，支撑物理学在纳米材料、纳光子学、凝聚态物理、半导体物理等方面的发展。促进材料学、物理学、微电子学等学科的交叉融合。
服务信息
-
电子束蒸发系统是一种高精度镀膜机，用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。该设备可以用于低维纳米材料的显微光谱学研究、电学样品制备、纳米光子学领域光学微腔的生长等。
-
按照使用机时和耗材收费： 开机费：240元 机时补贴：40元/小时 耗材：120/小时
-
无
联系方式
-
物理科学与技术学院
-
张龙
-
15306981360
-
zhanglong@xmu.edu.cn
