飞秒激光微纳加工平台

飞秒激光微纳加工平台

无

激光器>激光器>激光器

机械工程

1、激光器波长:1035±5nm；平均输出功率≥40W；脉冲宽度:<300fs至10ps可调；重复频率1Hz-5MHz可调；单脉冲能量:≥70uJ@1035nm；具有PSO位置触发功能；光束质量M2<1.3；功率稳定性:<0.5%RMS@1030nm/＜2%RMS@343nm；输出脉冲稳定性＜1%RMS；光斑直径≤20μm。 2、激光器具备倍频功能，倍频后波长：343nm；倍频后平均输出功率：≥6W；倍频后单脉冲能量>8μJ@343nm；倍频后光斑直径：≤5μm；倍频后重复频率、功率稳定性、脉冲稳定性等指标与倍频前保持一致。 3、1035nm波段激光...

此飞秒激光微纳加工平台具备卓越且多样化的功能，能够实现超高精度的微纳尺度材料去除与改性，以飞秒级的超短脉冲激光作用于各类材料，如金属、半导体、陶瓷、聚合物等，精准地在材料表面或内部制造出复杂的微纳结构，从微小的微孔、微槽到精细的纳米线、纳米点阵等，且加工边缘锐利、热影响区极小，有效避免传统加工方式带来的热变形与微裂纹等缺陷。

此飞秒激光微纳加工平台将在众多前沿学科领域发挥关键作用。例如，在材料科学领域，可助力难加工材料的微纳结构构建与改性研究，探索材料独特的物理化学性质，为开发高性能材料开辟新路径；在微电子领域，能对芯片电路进行超精细微纳加工，提高芯片的集成度与性能，促进电子产品朝着更小、更强的方向持续发展；在生物医学方面，可用于制造生物芯片、微流控器件，为细胞分析、药物筛选、精准医疗等提供了先进的技术手段。

院内300元/小时；校内350元/小时；校外400元/小时

无