电子束蒸发
Electron Beam Evaporation System
- 品牌：合肥聚盛真空科技有限公司
- 型号：DZS500
- 产地：中国
- 启用日期：2024-12-24
- 学科领域：物理学
仪器信息
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电子束蒸发
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Electron Beam Evaporation System
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工艺实验设备>电子工艺实验设备>半导体集成电路工艺实验设备
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物理学
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1.极限真空度：优于5.0×10-5Pa； 2.腔体尺寸：不小于500×500×700mm 3.电子枪：telemark 264 型 4.热蒸源：2套 5.样品尺寸：最大6寸，向下兼容 6.分子泵抽速：2000L/S
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制备高精度、高效率各种微纳尺度结构和样品
服务信息
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微电子、光电、航空航天、汽车、光学、半导体等行业。
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按样品收费
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无
联系方式
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物理科学与技术学院
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张纯淼
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18959219791
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zhangcm000@xmu.edu.cn
