氮原子源

氮原子源

Nitrogen atomic source

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电子与通信技术

真空室直径 57mm 标准长度 290mm 原子束直径 25mm 固定法兰直径 NW63CF(114mm/4.5”) 最大功率 600W 工作气压 <5x10-3mbar 通量：工作距离为100mm时>1x1016个原子/cm2/sec 提供的标准设备：原子源（适应用户指定的长度，并具有观察等离子的视窗）、射频电缆，手动调谐 装置、离子偏转板和电源 维护措施: 水冷，流速0.5l/min 运行压力: 所有原子源均可在腔室压力<5x10-3mbar的环境下运行。

用于双一流-微电子技术-第三代半导体的薄膜表面处理

氧化镓及二维半导体作为新兴的先进半导体材料，近几年得到国内外多家研究机构的重点关注。本次购买的氮原子源来自牛津应用研究所被广泛应用于各种薄膜工艺的研究和全自动生产应用，是微电子技术双一流方向的重要装备。

对外共享： 收费标准：K*M*设备使用单价*设备使用时间（送样预约K=1.3，设备培训K=1.3，机时预约K=1；工作日每天8:00:00至18:00:00时间段内，M=1；其余时间段内，M=0.7） 计费方式：计时 开机费：240 机时补贴费：120 耗材费：260 校内共享： 收费标准：K*M*设备使用单价*设备使用时间（送样预约K=1.3，设备培训K=1.3，机时预约K=1；工作日每天8:00:00至18:00:00时间段内，M=1；其余时间段内，M=0.7） 计费方式：计时 开机固定费：独立操作120；委托操作150 开机费：独立操作100；委托操作120 开机费折扣率：30-70% 机时补贴费：独立操作45；委托操作60 耗材费：独立操作100；委托操作130

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