高分辨场发射扫描电子显微镜

高分辨场发射扫描电子显微镜

Ultra-High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscopy

分析仪器>电子光学仪器>扫描电镜

化学

1. 电子枪：高性能场发射电子枪；2. SE分辨率： ≤0.6nm@15KV ； ≤0.8nm@1KV；3. 样品仓可以满足6吋或以上晶圆样品大面积观察，具有防碰撞功能；4. 具有多个镜筒内外高低位SE2像和背散射成分像检测器；5. 附设高效高分辨能谱仪EDS，空间立体（Solid angle）>1sr；最大输入计数率4,000kcps，最大输出计数率1,600kcps；能量分辨率优于129eV。

SEM是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器 。随着电镜技术的发展，电镜功能越来越强大，结合EDS、EBSD等分析附件可以同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等等。

方向一：高端电子制造电子电镀；方向二：高端电子化学品；方向三：下一代电子化学材料。这些研究方向均需要对微观结构进行超高分辨率的研究，对扫描电镜和能谱仪性能的要求也越来越高。

校内自测收费标准100元/小时 委托测试收费标准500元/小时

详见网站SOP文档和培训视频